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關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)	規(guī)格
倍率	0.4X-1.0X
波長(zhǎng)	405nm
量產(chǎn)解析	4-10um
應(yīng)用領(lǐng)域	IC載板線路層曝光光刻制程，具有自動(dòng)對(duì)焦功能

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